10.3969/j.issn.1006-7167.2015.05.011
双闭式气体静压导轨超精密工作台振动特性分析
为获得超精密工作台系统特性,针对双闭式气体静压导轨超精密工作台的振动特性展开研究.建立了工作台系统的动力学模型,推导了系统振动微分方程.通过实验得出了在实际工况中较为准确的线性弹簧刚度,用线性弹簧模拟气体静压腔,简化了系统动力学模型.最终根据系统振动微分方程建立仿真模型并进行了求解和分析,得到了仿真系统的固有频率和振型,并通过振动实验验证了仿真模型的准确度.气体静压系统的隔振效果在于高频范围,其模态特性符合超精密工作台系统的结构要求.
气浮工作台、振动、闭式、动力学、仿真
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TP138.9(自动化基础理论)
2015-07-22(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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