基于WAT Analyzer软件的阈值电压计算及magic number测定

摘要：

阈值电压是半导体晶圆测试的一个重要指标,它和半导器件参数等许多方面有紧密的联系,magic number(N)是一个基于线度计算阈值电压经验公式的关键值.基于自主研发的WAT Analyzer软件对相关实测数据处理,对比根据实测数据用跨导法计算阈值电压的结果,经统计分析提出了一个N的新值.通过实测数据进行检验,验证了N值的有效性.

关键词：晶圆、WAT、阈值电压、magicnumber

所属期刊栏目：28

分类号：TN407(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2009-11-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：33-35,87