NiTi薄膜残余应力测试方法的探讨

摘要：

介绍了适用薄膜残余应力测量的弯曲法和X射线掠射法,重点介绍了一种新型测量薄膜残余应力的方法-纳米压痕法,并采用非球形压头纳米压痕法测量了NiTi薄膜的残余应力,对薄膜残余应力的测量进行了有益的探讨和尝试,结果表明纳米压痕技术可作为定性测量薄膜残余应力的有效手段.

关键词：残余应力、NiTi、薄膜

所属期刊栏目：26

分类号：TB3(工程材料学)

资助基金：上海市科委资助项目0452nm054

在线出版日期：2007-04-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：16-18