学生实验真空镀膜机的设计与制作

摘要：

@@ 随着科学技术的不断发展,薄膜材料在光学、电子技术、原子物理、半导体技术、宇宙技术等领域得到了日益广泛的应用,推动了薄膜制备技术的蓬勃发展,许多新型的镀膜方法与工艺也不断涌现.

机标关键词：学生实验、真空镀膜机、设计、制作、薄膜制备技术、半导体技术、原子物理、科学技术、镀膜方法、电子技术、薄膜材料、宇宙、应用、光学、工艺

所属期刊栏目：22

分类号：TB79(真空技术)

在线出版日期：2004-04-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：109-109