扫描电子显微镜样品常规处理镀膜技术的改进

摘要：

扫描电子显微镜是观察研究试材表面微观、超微观结构的大型精密仪器.在观察研究试材前,要对试材表面进行镀金膜处理,此处理消耗材料成本十分昂贵,阻碍大数量样品的科学研究.几年来,沈阳农业大学分析测试中心根据生物、农业研究中微观试材的特点,用自主设计的铂合金靶和铜合金靶组合使用,替代国外同类专用产品,成本降低80%,对大数量样品的科学研究、试材处理的结果优于国外同类专用产品处理结果,为科学研究工作创造了有利条件.

关键词：扫描电镜显微镜、铂合金靶、铜合金靶、镀金膜处理、处理成本

所属期刊栏目：38

分类号：G642.423;Q336(高等教育)

在线出版日期：2008-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：864-867