高频光栅节距误差的采样云纹法分析

摘要：

使用采样云纹法来研究高频光栅节距的畸变程度.用电子束刻蚀的3922 line/mm的平行光栅,对其高分辨率扫描电镜图像进行采样和相移分析,得到对应的相位分布,进而转化为相对误差.对于正交光栅,分别进行水平和垂直方向线性滤波后转化为对应的平行光栅,进而得到相对误差分布,并提出误差统计分析来评价光栅质量.理论和实验验证表明采样云纹法可为高频光栅提供评价手段.

关键词：高频光栅、节距误差、采样云纹法

所属期刊栏目：28

分类号：O348.1;O438(固体力学)

资助基金：国家自然科学基金10972047,11172054,11062007;中央高校基本科研业务费DUT11LK03

在线出版日期：2013-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：158-165