基于频闪栅线投影的三维微结构高频动态测试系统

摘要：

在微电子机械系统(MEMS)中,执行器的动作主要通过微结构的微小变形来实现,故其动态变形测试具有十分重要的意义.本文采用栅线投影测量和频闪成像技术,研制了一套三维微结构高频动态测试系统,可以实现高速10MHz频率的动态变形测量.由于在频闪测量中,光源照明信号与器件激励信号需严格同步,本文采用直接数字频率合成和现场可编程门阵列(FPGA)技术,研制了超高频激光频闪同步控制器.通过相移栅线投影器及频闪位相控制器,获得了离面位移和背景强度,然后对背景强度运用数码图像相关技术实现面内位移的测量.

关键词：高频频闪照明、同步控制、动态测试、栅线投影、数字图像相关

所属期刊栏目：26

分类号：TH74;O348.1(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金10727201

在线出版日期：2012-03-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共11页

页码：592-602