纳米压痕法研究PZT压电薄膜的力学性能

摘要：

PZT压电薄膜的力学性能如弹性模量、硬度等对于MEMS器件的结构设计、结构响应特性、服役性能等尤为重要.薄膜材料由于尺寸效应、表面效应等的作用,力学性能与宏观块体材料有显著差异.本文用纳米压痕法获得了PZT压电薄膜的弹性模量和硬度,考察了基底的影响,分析了退火时间对于其力学性能的影响,以及硬度和压入深度之间的压痕尺度效应.

关键词：PZT压电薄膜、纳米压痕法、压痕尺度效应

所属期刊栏目：22

分类号：O34;O48(固体力学)

资助基金：国家自然科学基金10232030

在线出版日期：2008-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：575-580