利用数字散斑相关法测定聚酰亚胺/SiO2合成薄膜的力学性能

摘要：

聚酰亚胺/SiO2合成薄膜是一种具有优良力热光电性能的薄膜材料,在MEMS工艺中具有广阔的应用前景,其力学性能测量的研究具有非常重要的意义.本文将数字散斑相关技术和微拉伸试验相结合,对厚度为37μm的聚酰亚胺(polyimide)/二氧化硅(SiO2)合成薄膜进行了力学性能测量,获得了比较满意的结果.文章给出了测得的弹性模量和泊松比.为了解决数字散斑相关法不能直接测量较大变形的缺陷,本文提出了多级相关算法,并利用亚像素搜索和双线性插值进行了数据处理.

关键词：数字散斑相关法、聚酰亚胺/SiO2、薄膜、力学性能

所属期刊栏目：20

分类号：O348(固体力学)

资助基金：国家自然科学基金10072017;国家高技术研究发展计划863计划2002AA404140

在线出版日期：2005-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：109-114