微电子机械系统中转速测量的光学方法

摘要：

利用显微测量技术和CCD图像传感器的线性积分成像特性,将数字图像处理技术与时间积分成像技术用于微电子机械系统(MEMS)中的转速测量.只需分别摄取被测物体上的标志点在静止状态下的时间积分图像和运动状态下的时间积分图像,即可测得物体在该段曝光时间内的转速.该方法对实验设备及实验条件要求较宽松.实验表明该方法对微系统中近似匀速转动时转速的测量是完全可行的,且具有较高的精度.

关键词：微电子机械系统、转速测量、灰度积分

所属期刊栏目：19

分类号：O348.1(固体力学)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2002AA404141;国家自然科学基金10072017

在线出版日期：2004-05-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：109-112