碳基SnO2微纳米球的制备方法及其在扫描电镜校准方面的应用

摘要：

该文提出了一种对设备要求低、操作简单以及成本低廉的化学气相沉积法制备不同粒径分布的碳基SnO2微纳米球的新方法.该方法制备的碳基SnO2微纳米球球形度好、表面光洁度高、粒径分布广,粒径在20 nm～3.3μm范围内连续分布.制备的碳基SnO2微纳米球在扫描电镜观察中具有在真空和电子束轰击下稳定、导电性良好、二次电子产出率高以及粒径分布广等优点,适用于扫描电镜2～50k倍率下图像分辨率、像散以及成像质量等多项图像性能指标的校准.

关键词：碳基SnO2微纳米球;扫描电镜;校准;化学气相沉积

所属期刊栏目：20

分类号：A65

资助基金：四川大学实验技术项目SCU202021

在线出版日期：2022-03-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：81-85