基于新型激光干涉仪的玻璃测厚实验装置

摘要：

设计了一种用于玻璃厚度测量的空间相位调制型激光干涉仪,该干涉仪主要由垂直腔面发射激光器(VCSEL),单模光纤和线阵电荷耦合器件(CCD)组成,玻璃上、下表面的反射光产生双光束干涉,生成的空间相位调制干涉图像被CCD探测,图像的空间频率与玻璃厚度成比例,厚度测量分辨率可以达到纳米量级.该玻璃测厚教学实验装置具有体积小和成本低等优势,涉及光学干涉、激光原理、光电探测、现场可编程门阵列(FPGA)、电子电路、虚拟仪器、数字信号处理等诸多内容,适合于高年级本科生的教学实验.

关键词：激光干涉仪、双光束干涉、玻璃测厚、线阵CCD、LabVIEW

所属期刊栏目：18

分类号：TP274.4(自动化技术及设备)

资助基金：十三五国家科技重大专项科研任务;辽宁省普通高等教育本科教学改革研究项目;大连理工大学实验室重点建设项目

在线出版日期：2020-07-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：134-139