离子溅射喷金对陶瓷类样品扫描电镜形貌观察的影响

摘要：

该文报道了离子溅射喷金在羟基磷灰石(HA)陶瓷表面发生金粒异常长大的现象.这种由于喷金在样品表面产生的假象极大地影响了我们对样品表面真实形貌的判断.该文通过改变喷金的电流、时间以及试样对产生这种现象的原因进行了细致地探讨,用于指导不导电或导电性差的样品在扫描电镜观察中喷金条件的选择,以减小喷金对样品形貌观察的影响,获得样品表面真实形貌的高质量图片.

关键词：扫描电镜、离子溅射、喷金、陶瓷

所属期刊栏目：18

分类号：TN16;TB321(真空电子技术)

资助基金：四川大学实验技术立项20170212

在线出版日期：2020-05-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：21-25