扫描电镜的基本原理及应用

摘要：

扫描电镜主要用于样品微区形貌、结构及成分的观察和分析.扫描电镜具有高的分辨率、良好的景深以及简易的操作等优点,使其在材料学、物理学、化学、生物学、考古学、地矿学以及微电子工业等领域有广泛的应用.该文结合多年的扫描电镜测试经验介绍了扫描电镜的基本原理、构造、优势以及在实际中的应用,为扫描电镜的初学者及从业者全面了解和使用扫描电镜提供一定的帮助.

关键词：扫描电镜、基本原理、构造、优势、应用

所属期刊栏目：17

分类号：TH89

资助基金：四川大学实验技术立项20170212

在线出版日期：2019-12-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：85-93