教研资源共享的“微电子工艺实验”改革

摘要：

为了加强学生对微电子制造过程的感性认识和对学科特点的认知,在原有的微电子平面工艺实验的基础上,对“微电子工艺实验”教学模式进行改革,引入氧化锌基薄膜场效应晶体管工艺制造技术及半导体测试分析实验,使教学与科研资源共享,建立了由教学内容的准备、多媒体教学、实际动手流片、完善有效的实验考核方案四部分组成的教学方式,激发了同学们学习的热情,取得了较好的教学效果.

关键词：微电子工艺实验、薄膜场效应晶体管、教学改革、流水实验

所属期刊栏目：14

分类号：G642(高等教育)

资助基金：2013年华南理工大学教研教改项目x2dx-Y1130010;华南理工大学第一批“探索性实验”教学项目x2dx-Y1140610

在线出版日期：2016-08-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：108-109,170