微纳米加工净化间的环境维护与管理

摘要：

随着现代科技的发展,科研工作越来越需要与实际应用相结合,因此国内高校越来越多的建立起用于微纳米刻蚀的净化间,相应的其维护管理操作规范的建立也很有必要.文中主要从净化间的环境控制、运行规范和人员管理等三个方面,讨论和阐述了如何使其安全良好运行,进而确保制备样品的质量,为高校科研活动提供保障.

关键词：高校、净化间、维护、管理

所属期刊栏目：13

分类号：G482(学校建筑和设备的管理)

资助基金：国家自然科学基金资助项目51202102

在线出版日期：2015-05-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：176-177