10.3969/j.issn.1672-4550.2013.06.074
ITO薄膜的制备、光刻及性能测试实验设计
文中就电子科技大学显示器件技术课程ITO薄膜的制备、光刻及性能测试实验进行了深入分析.该实验主要涉及ITO薄膜的制备、图案的刻蚀、ITO薄膜的方阻测试及透过率测试.通过该实验让学生掌握ITO薄膜的制备、薄膜图案的形成及薄膜的性能测试等基本工艺技术.
ITO薄膜、刻蚀、方阻、透过率
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TN15(真空电子技术)
2014-03-05(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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