消除扫描电子显微镜图像荷电效应的方式探讨

摘要：

扫描电子显微镜主要用于样品形态观察,图像立体感强.但是在观察过程中经常因为荷电效应,影响图像质量,消除荷电效应在扫描电镜使用过程中非常重要.文中对荷电效应产生原因进行论述,并对减轻荷电效应的常规方法进行说明.比较TV拍照、积分拍照、慢拍照的33种拍照方式.重点探讨积分拍照方式消除荷电效应的影响,在实际应用中取得满意的图像效果.

关键词：扫描电子显微镜、积分拍照、图像、荷电

所属期刊栏目：11

分类号：TH89

在线出版日期：2013-06-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：22-23