微波等离子体的双探针诊断

摘要：

在各等离子体中微波等离子体有电离度高,电子密度高等优良性能.其性能使微波等离子体的应用越来越广泛.微波等离子体相关参数的诊断研究也逐渐得到人们的重视.文章介绍了微波等离子体的探针诊断技术,设计了一个双探针自动诊断系统,其中ICL8083芯片作为信号发生器(产生三角波和方波),高度集成化的ADUC845芯片作数据处理器并接入计算机,经扫描采样得到离子密度波形和电压波形,取得了较好的实验结果.

关键词：微波等离子体、诊断、双探针

所属期刊栏目：6

分类号：TN136(真空电子技术)

在线出版日期：2008-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：14-16