基于纳秒激光诱导等离子体辅助烧蚀的玻璃表面金属化实验研究

摘要：

由于激光诱导等离子体辅助烧蚀(LIPAA)在玻璃表面金属化加工中具有经济、环境友好且高效的特点,该文研究了在纳秒激光下以金属铜作为牺牲靶材,于玻璃基板上采用LIPAA工艺实现直接平面金属化的可行性.为此,对逐行扫描LIPAA制备的玻璃基板上平面金属层的形态和化学成分进行了详细表征;进一步,结合扫描电子显微镜及X射线能谱分析仪对试件在不同激光扫描速度、线间距、激光功率及频率下金属化的表面形貌演变进行了深入分析,揭示了以上加工参数对玻璃表面金属化覆盖率及形貌的影响规律.实验结果表明,当激光功率为20 W,激光频率为20 kHz,激光扫描线间距为2.5 μm,扫描速度为300 mm/s时,玻璃表面的金属化可实现全区域覆盖且厚度适中.

关键词：激光诱导等离子体辅助烧蚀、表面金属化、纳秒激光、玻璃

所属期刊栏目：40

分类号：TG146(金属学与热处理)

资助基金：广州市教育局创新团队科研项目;广州市科技计划项目;广州市高校创新创业就业教育资助项目;华南理工大学本科教研教改资助项目

在线出版日期：2023-05-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：14-19,47