基于COMSOL的光学压力传感器的仿真与实验

摘要：

将测控技术与仪器专业核心课程"传感器原理与技术"中压力传感器的优化设计与实际应用结合,以光学压力传感器为例,提出基于COMSOL的光学压力传感器优化设计仿真方法与实验方案.利用COMSOL软件对光学压力传感器进行建模仿真,分析力敏结构和石墨烯波导的参数对传感器灵敏度的影响.从而得出压力灵敏度随金字塔间距的增大而增大,随波导芯层宽度的增大而减小的结论.最后进行压力传感实验,验证该优化设计方法的有效性.该设计方法可应用于"传感器"相关课程课堂教学中传感器的优化设计,也可用于实验教学演示,有助于帮助学生建立传感器优化设计思维框架并提高其科研实践能力.

关键词：COMSOL、光学压力传感器、优化设计、仿真实验、石墨烯

所属期刊栏目：39

分类号：TH824

资助基金：中国矿业大学北京教学改革项目;国家自然科学基金

在线出版日期：2022-12-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：24-29