利用KFM研究浮栅结构存储特性的实验设计

摘要：

浮栅存储器是一种重要的微电子器件,已得到了广泛的应用.为了使学生在微观尺度下观察和研究浮栅存储结构的存储特性,设计了基于开尔文力显微镜(KFM )的探究性实验.实验内容包括试样准备、KFM测试和结果与讨论等,最后根据KFM测试结果与半导体器件物理知识,定量分析出存储电荷的面密度大小.该实验有助于加深学生对浮栅存储器工作原理的理解,激发学生的学习兴趣,提高学生的研究能力.

关键词：浮栅存储器、电荷存储、KFM、探究性实验

所属期刊栏目：35

分类号：TP333-45(计算技术、计算机技术)

资助基金：江苏省自然科学基金项目BK20160909;江苏省教育科学"十三五"规划青年专项重点课题2016-ZX0111-00578;南京邮电大学科研启动基金项目NY215039

在线出版日期：2018-10-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：64-66,74