精密测量仪器在超精密加工实验室中的作用

摘要：

实验室不仅需要配置高水平的超精密加工装备,还需要相应的精密测量仪器.如何正确而有效地利用加工装备和测量仪器,是超精密加工技术专业本科生和研究生必须掌握的能力.利用白光干涉仪和扫描电子显微镜在超精密加工机理研究中的应用,分析精密测量仪器在超精密加工实验室中的重要作用,提出一个具体的方案解决目前精密仪器数量少而学生多的实际问题.

关键词：超精密加工、精密测量仪器、白光干涉仪、扫描电镜

所属期刊栏目：34

分类号：G484(学校建筑和设备的管理)

资助基金：国家自然科学基金项目51205067;广东省本科高校教学质量与教学改革工程项目粤教高函〔2016〕233号

在线出版日期：2017-08-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：222-227