构建真空镀膜实验三维仿真系统

摘要：

利用Visual Basic 2010结合OpenGL API,在Windows 7操作系统平台下制作了真空镀膜实验仿真系统.三维虚拟设备模型由3D MAX软件制作,三维模型交互操作通过OpenGL API实现.该软件还可以模拟真空仪器所处的各种运行状态并对操作错误步骤进行处理.构造了薄膜生长的蒙特卡罗理论模型,并利用该模型研究薄膜生长的形貌,对于决定薄膜形貌诸多影响因素也可进行讨论；利用高性能图形处理软件(OpenGL API)成功展示了薄膜成长的分形特征及表面粗糙度表征.该软件有效地实现了镀膜过程及薄膜生长过程,增强了学生对薄膜生长机理的理解,提高了教学质量,培养了学生学习兴趣和增强了学生的实验操作能力.

关键词：真空镀膜机、仿真系统、VB2010、OpenGL

所属期刊栏目：29

分类号：TB753;TP391.9(真空技术)

资助基金：海南省教育厅高等学校科学研究项目Hjsk2010-23,Hj2010-01;海南大学教务处科研资助项目hdjy0921

在线出版日期：2012-05-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：71-75