薄膜提拉装置研制

摘要：

设计并开发了一种薄膜提拉装置.该装置由液压装置、提拉装置、控制装置3个独立分体装置组成.为了实现薄膜制备过程中无振动、匀速提拉运行的"理想"成膜条件,选用液压传动系统以液体静压力进行动力传递和控制,并采用了与振动源保持柔性连接的隔离技术.该装置具有振动极小、低速稳定、匀速运行等优点,制得的薄膜表面平整、厚度均匀.为薄膜制备领域的教学科研和应用技术研究,提供了一种高品质的薄膜制备设备.

关键词：薄膜制备、提拉装置、液压传动

所属期刊栏目：28

分类号：TB383-33(工程材料学)

资助基金：国防基础科研A1420060185;国家发明专利650086

在线出版日期：2011-08-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：63-66