应用织构极图研究ZnO外延膜的晶体取向特征

摘要：

用MOCVD法在蓝宝石衬底上生长ZnO外延膜.用理学D/max 2550转靶衍射仪测量ZnO外延膜织构.观察到试样存在2种晶体取向关系:ZnO[11-20]//Al2O3[10-10]及gnO[10-10]//Al2O3[10-10].计算得到晶格取向极点分布平均半高宽为12.26°,且前一种取向晶体的数量是后者的13倍.探讨了2种取向的热力学稳定性.给出了外延膜取向特性的逐层分析结果.

关键词：ZnO外延膜、晶体取向、织构极图、极点密度、分布半高宽

所属期刊栏目：24

分类号：O484.5(固体物理学)

在线出版日期：2007-11-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：32-34