四氯化硅氢化工艺研究与探讨

摘要：

介绍了国内外多晶硅生产工艺副产物四氯化硅转化为三氯氢硅的两种工艺:热氢化与冷氢化.对两种工艺的特点、过程能耗及发展方向进行了研究与探讨.

关键词：四氯化硅、热氢化、冷氢化、三氯氢硅

所属期刊栏目：32

分类号：TQ127.2

资助基金：项目2011潞安技字060号

在线出版日期：2013-05-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：81-85