压电器件的精密超声复合电解加工技术

摘要：

设计了用于压电器件精密加工的超声复合电解加工系统,采用组合电加工技术制作工具电极.运用ANSYS软件对超声振动系统进行参数化建模,并用其多物理场耦合功能进行动力学分析,得出超声系统振动特性参数.通过激光微位移传感器进行振动特性参数检测,验证超声振动系统设计及ANSYS模型分析的正确、可靠性.进一步采用超声及其复合电解组合加工方法,对表面镀膜压电器件进行批量加工试验.结果表明:本方法在满足加工精度的基础上,能够大幅提高加工效率,并降低加工成本.

关键词：压电器件、超声复合电解加工、ANSYS分析、组合加工

所属期刊栏目：46

分类号：O426.4(声学)

资助基金：国家自然科学基金51775484,51375428;"十三五"装备科研领域基金61409230403

在线出版日期：2018-11-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：32-38