缓蚀剂在镁合金化学机械抛光过程中的作用

摘要：

利用碱性体系抛光液研究了十二烷基苯磺酸钠（SDBS）缓蚀剂对镁合金化学机械抛光过程和抛光效果的影响。采用能谱仪 XPS 分析缓蚀剂在镁合金表面形成的膜层成分，并通过腐蚀试验、电化学分析和磨粒粒径测试的手段分析了抛光液中 SDBS 在镁合金化学机械抛光过程中的作用机理。结果表明：当 SDBS 含量为1．0％时，抛光液中 SDBS 可有效抑制镁合金在抛光过程中的腐蚀，缓释效果可达91％。SDBS 与镁合金通过缩合反应生成保护膜，减小抛光后的表面粗糙度以及点蚀的出现，提高表面质量；另外，SDBS 对 Al2 O3抛光磨粒具有一定的吸附作用。当 SDBS 含量为1．0％时，能有效抑制 Al2 O3磨粒团聚，进而对抛光效果产生一定的影响，减少抛光过程中划痕的产生。

关键词：化学机械抛光、缓蚀剂、极化曲线、去除率、粗糙度

分类号：TQ146.22

资助基金：国家自然科学基金资助项目51305166，51005102；江苏省自然科学基金资助项目BK20130143；清华大学摩擦学国家重点实验室开放基金项目SKLTKF101304；中央高校基本科研业务费专项资金项目JUDCF13028；江 苏 省 普 通 高 校 研 究 生 科 研 创 新 计 划 项 目CXZZ13-0738；中国博士后科学基金项目20110491366；江苏省博士后科学基金项目1002028C

在线出版日期：2015-04-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：48-52