微氟循环玻璃蚀刻的工艺研究

摘要：

应用正交试验和单因子实验分别确定了微氟循环蚀刻液的配比及微氟循环蚀刻的最佳工艺条件.结果表明,蚀刻的最佳工艺条件为:pH=5.5,温度为48℃,时间为2.2h.并经SEM和IR实验测试,玻璃表面蚀刻均匀,蚀刻深度为5.8 μm,深度均一,表面平整,无侧蚀现象.蚀刻后废液经化学处理可实现循环使用.

关键词：微量氟化物、玻璃、循环蚀刻技术

所属期刊栏目：42

分类号：TQ171.687

资助基金：国家自然科学基金资助项目51103081

在线出版日期：2014-03-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：62-64