碳化硅外延设备检漏技术研究与应用

摘要：

碳化硅外延设备是囊括了高温、真空、运动、气体、电路、水冷等多学科、高危险的精密复杂设备.碳化硅外延生长需要在高温、低真空的环境下通入易燃易爆有毒工艺气体,因此设备的密封性尤为重要.介绍了利用控制系统对碳化硅外延设备自动检漏的方法,能够方便维护人员进行操作,大大缩短检漏时间.

关键词：真空检漏技术、碳化硅外延设备、控制系统

分类号：TN303(半导体技术)

资助基金：季华实验室基金项目X210241TC210

在线出版日期：2023-08-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：171-172,177