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10.3969/j.issn.1672-6413.2022.06.063

基于PLC的真空镀膜装置控制系统设计

引用
在对真空镀膜装置工作原理分析的基础上,设计了基于PLC的真空镀膜装置控制系统,并完成了控制系统关键器件的选型.该控制系统有效提升了真空镀膜装置的自动化控制能力,镀膜的精确性和效率得到了提高.

PLC、真空镀膜装置、控制系统

TP273(自动化技术及设备)

浙江省高等学校国内访问工程师校企合作项目FG2021051

2022-12-28(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共3页

176-177,180

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机械工程与自动化

1672-6413

14-1319/TH

2022,(6)

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