基于PLC的真空镀膜装置控制系统设计

摘要：

在对真空镀膜装置工作原理分析的基础上,设计了基于PLC的真空镀膜装置控制系统,并完成了控制系统关键器件的选型.该控制系统有效提升了真空镀膜装置的自动化控制能力,镀膜的精确性和效率得到了提高.

关键词：PLC、真空镀膜装置、控制系统

分类号：TP273(自动化技术及设备)

资助基金：浙江省高等学校国内访问工程师校企合作项目FG2021051

在线出版日期：2022-12-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：176-177,180