极化静电力驱动的高粘液膜整平研究

摘要：

提出了一种基于电液动力学原理的胶膜整平方法,重点分析了电压大小和电极距胶面的距离对胶面整平的影响与规律,并针对部分主要影响因素进行了系统的实验研究.设计并搭建了基于电液动力学的胶膜平整平台及胶厚的扫描测量平台.通过对实验结果的分析,得到了电极间电压大小、电极距胶膜距离等因素对胶膜平整度的影响规律,通过对胶膜厚度的测量结果拟合和仿真验证了基于电液动力学原理的胶膜整平方法的可行性.研究结果为实现胶膜整平提供了一种新途径,为获得微量胶滴及高精度点胶提供了指导.

关键词：胶膜整平、电液动力学、电极间电压、电极距胶面

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2020-11-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：32-35