10.3969/j.issn.1672-6413.2019.05.003
基于陶瓷基板的偏差校正研究
为保证4寸陶瓷基板的运输定位精度,设计了一种校正装置,并提出一种通过机器人的辅助搬运来消除偏差的校正方案.该方法可以有效地消除陶瓷基板在料盒中的放置偏差,有助于提高4寸陶瓷基板在运输后的定位精度.
陶瓷基板、校正、偏差、定位精度
TN43;TP242.2(微电子学、集成电路(IC))
广东省自然科学基金资助项目2016A03030816;广东省重大研发专项2015B010133005 ,2018B090906002
2019-10-18(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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