10.3969/j.issn.1672-6413.2019.02.001
基于ANSYS Workbench的铜质研磨盘热结构耦合分析
在研磨氧化镓晶片时,由于铜质研磨盘的导热系数和热膨胀率较大,因此研磨盘各个部位的热变形量也会因为温度的不同而不同.通常在加工前需要对研磨盘加工时的变形量进行预测,并对研磨盘表面进行平面补偿.选取了3组不同补偿角的研磨盘,基于ANSYS Workbench对它们分别进行瞬态热结构耦合分析.结果表明:当补偿角为0·003°时铜盘补偿效果最好.该方法为不同研磨工况下研磨盘补偿角的选定提供了参考.
研磨盘、氧化镓、热变形、热结构耦合、ANSYS Workbench
TP391.7(计算技术、计算机技术)
国家自然科学基金资助项目 51675457
2019-05-09(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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