基于ANSYS Workbench的铜质研磨盘热结构耦合分析

摘要：

在研磨氧化镓晶片时,由于铜质研磨盘的导热系数和热膨胀率较大,因此研磨盘各个部位的热变形量也会因为温度的不同而不同.通常在加工前需要对研磨盘加工时的变形量进行预测,并对研磨盘表面进行平面补偿.选取了3组不同补偿角的研磨盘,基于ANSYS Workbench对它们分别进行瞬态热结构耦合分析.结果表明:当补偿角为0·003°时铜盘补偿效果最好.该方法为不同研磨工况下研磨盘补偿角的选定提供了参考.

关键词：研磨盘、氧化镓、热变形、热结构耦合、ANSYS Workbench

分类号：TP391.7(计算技术、计算机技术)

资助基金：国家自然科学基金资助项目 51675457

在线出版日期：2019-05-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1-4,7