10.3969/j.issn.1672-6413.2011.04.085
物理气相沉积技术的研究进展与应用
介绍了物理气相沉积技术的新工艺、新进展及其特点,总结了物理气相沉积技术的一些新应用.指出特殊功能复合膜的制备、复合膜的研究与应用以及超硬膜制备将是物理气相沉积技术今后研究的重点.
物理气相沉积、沉积、薄膜
TG174.444(金属学与热处理)
2012-01-15(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
214-216
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10.3969/j.issn.1672-6413.2011.04.085
物理气相沉积、沉积、薄膜
TG174.444(金属学与热处理)
2012-01-15(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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