NF3与CF4分离纯化技术路线研究进展

摘要：

在NF3的工业化生产中,会与原料氟气(F2)一起引入不纯物质四氟甲烷(CF4),严重影响了NF3的品质.需要开发出具有经济效益成本的NF3和CF4分离纯化技术方法.CF4和NF3这两种气体具有非常相似的物理特性,很难通过传统的技术进行分离.因此,总结了NF3中CF4杂质的分离纯化技术研究进展,从纯度、效率、成本和安全等角度对比分析了包括低温精馏、吸附、膜分离、萃取精馏和吸收在内的5种纯化技术路线的优势和不足.低温精馏通常需要在-100～-192℃的低温下操作,而膜技术和使用沸石和分子筛的吸附技术过程在能耗、维护成本、连续化和处理能力等方面受到分离材料性能的显著限制.在此基础上,提出了克服当前工业挑战的潜在的分离纯化方法.指出基于吸收和萃取精馏的方法适用于从NF3中纯化CF4杂质的最佳的工艺技术路线.

关键词：三氟化氮、四氟甲烷、电子特种气体、杂质、分离纯化

所属期刊栏目：52

分类号：TQ117

在线出版日期：2023-02-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：266-272