四氟化硅气体中杂质的检测及净化研究进展

摘要：

介绍了四氟化硅气体中杂质的4种检测方法:气相色谱法、红外光谱法、气相色谱质谱法、原子发射光谱法.其中,气相色谱法一般用来测定四氟化硅气体中的烃类杂质,红外光谱法主要用来测定四氟化硅气体中的氟硅烷、氟氧硅烷、氟硅醇杂质.气相色谱质谱法用来测定四氟化硅气体中的六氟化硫杂质,原子发射光谱法主要用来测定四氟化硅气体中的金属杂质.然后对四氟化硅气体的不同净化方法进行列举,并对净化工艺的条件、优缺点进行了阐述.

关键词：四氟化硅、杂质检测、杂质净化

所属期刊栏目：48

分类号：TQ170.1

资助基金：贵州省科技计划项目黔科合SY字[2014]3058

在线出版日期：2019-05-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：486-489,493