sol-gel 法制备 NiZn 铁氧体透明薄膜研究

摘要：

采用溶胶-凝胶法制备 NiZn 铁氧体薄膜，研究了溶胶配制、甩胶及退火工艺对 NiZn 铁氧体薄膜性能的影响，系统研究了制备工艺和退火工艺。结果表明，不同的膜厚，改变了样品内的残余应力；在退火工艺上，升温速率直接影响成核数量，退火温度和保温时间决定薄膜的结晶程度和附着力的大小。通过对溶胶-凝胶法制备 NiZn 铁氧体薄膜技术的研究及工艺优化，得到合理的退火处理工艺为：以2．5℃／min 的升温速率升到700℃，保温40 min后随炉自然冷却到室温。同时研究了 NiZn 铁氧体薄膜的可见光透过和微波损耗特性。

关键词：NiZn 铁氧体薄膜、溶胶-凝胶法、退火处理

所属期刊栏目：45

分类号：TQ016.1;TQ959.4;O64(一般性问题)

资助基金：山西省青年科学基金项目2014021020-1；2015021083

在线出版日期：2016-08-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1597-1600