一种苯磺酸酯类光致产酸剂的合成与性能研究
以苯酐、盐酸羟胺和4-甲基苯磺酰氯为原料,合成了N-羟基邻苯二甲酰亚胺对甲苯磺酸酯,并利用红外、核磁共振和紫外对其进行表征,研究了溶解性、紫外吸收和光刻等性能。结果表明,该产酸剂在常见有机溶剂中表现出良好的溶解性,并在248 nm处有好的透明性,可应用于深紫外光致抗蚀剂体系。
光致产酸剂、合成、光刻技术
TQ594;O623
河南省科技厅软科学研究项目132400411312;周口师范学院实验室开放项目K201434;周口师范学院化学化工学院大学生科技创新基金资助项目HYDC201412
2014-11-26(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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