多晶硅水性切削液除硅研究

摘要：

以废切削液回收PEG后剩余的废砂为原料,采用酸溶和碱溶两种方法除去废砂中的多晶硅杂质,回收SiC微粉,并对两种方法的可行性及工艺条件进行了研究.结果表明,酸法除硅时,当HF浓度为4 mol/L,硝酸浓度为2 mol/L,温度为35 ℃,反应时间为70 min时,可使回收微粉中硅杂质含量在0.1%～0.2%.碱法除硅时,当NaOH的溶液3%左右,温度在70 ℃,反应时间2 h,可使回收微粉中硅杂质含量在0.2%～0.3%.粒度分析表明,酸法及碱法回收产品粒径分布均能满足指标要求,且碱法回收产品粒径分布与新砂一致.

关键词：废砂、碱法、酸法、粒度分析

所属期刊栏目：39

分类号：TQ174.9

资助基金：国家十一五科技支撑计划项目2006BAD05A07

在线出版日期：2010-10-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1140-1144