无线接收式MEMS毫米波功率传感器的设计
为了克服传统热电式功率传感的低过载水平和实现与GaAs MMIC工艺相兼容无线功率探测,提出了一种新型的单片无线接收式MEMS毫米波功率传感器,并对其三个组成部分的设计方法进行了研究.对于功率接收部分:共面波导馈线天线,根据微带天线的设计理论,先计算出符合设计要求的尺寸,再通过仿真软件HFSS优化得到最优尺寸;对于抗过载部分:MEMS悬臂梁,采用平板电容模型来设计,再通过有限元分析软件ANSYS来做验证;对于功率检测部分,采用背面刻蚀技术来提高传感器的热传输效率和灵敏度.共面波导馈线天线的尺寸:辐射面长1840μm,宽820μm,地线宽560μm.理论计算得到的MEMS悬臂梁的下拉电压为13.05V,ANSYS仿真的下拉电压为12V,两者相对吻合.在衬底没有减薄时,负载电阻的最高温度为17.072K,热电堆的冷热两端的温差为7.588K.在减薄时,负载电阻的最高温度为32.089K,热电堆的冷热两端的温差为17.827K.
MEMS、无线接收式、毫米波、功率传感器
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江苏省青年基金项目BK20140890;南京邮电大学校引进人才项目NY213024
2015-05-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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