高压低纹波纳米驱动器

摘要：

针对压电陶瓷进行了纳米级驱动技术的研究,优化了传统的直流放大式驱动技术的系统特性.深度分析了以压电陶瓷为驱动元件的纳米级微位移驱动技术的特性,实现了以下两方面的突破:在设计基于压电陶瓷元件实现纳米精度定位的研究中,设计出了数控压电陶瓷驱动器；深入研究了压电陶瓷容性元件特性后设计出电压恒流源式驱动电路,同时在电路中引入负反馈,稳定了驱动器的输出.通过大量实验证明,该设计很好地解决了压电陶瓷驱动高精度、快响应的难点,具有很高的实用价值.

关键词：压电陶瓷、纳米定位、高压驱动器

分类号：TM282(电工材料)

在线出版日期：2013-11-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：69-72