类金刚石薄膜的制备及其血液相容性的初步研究

摘要：

本文以单晶硅为基体,Ar等离子体对基体进行清洗,用法制备类金刚石(DLC)膜和掺氮的DLC膜.沉积DLC膜所用的气体是乙炔和氩气,沉积掺氮的DLC膜用乙炔和氮气.利用衰减全反射红外光谱(ATR-FTIR)和扫描电子显微镜(SEM)对沉积的DLC膜和掺氮的DLC膜进行结构分析和观察表面形貌.考察了乙炔比例、放电功率等沉积参数对DLC膜的影响.通过接触角和血小板黏附实验,进行了DLC膜的抗凝血性能分析,效果较好.

关键词：类金刚石膜、等离子体、化学气相沉积法、血小板黏附

所属期刊栏目：7

分类号：TG174.444(金属学与热处理)

资助基金：北京市重点实验室基金

在线出版日期：2007-04-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：211-214