离子色谱法测定蚀刻槽废氢氟酸中的六氟硅酸

摘要：

建立了一种新的检测蚀刻槽废氢氟酸中六氟硅酸的离子色谱方法.色谱柱为Metrosep A Supp 7阴离子交换柱,流动相为3.2 mmol/L碳酸钠-1.0 mmol/L碳酸氢钠,流速为0.7 mL/min.六氟硅酸经过抑制型电导检测器后进行衍生化反应,在360 nm波长下用紫外检测器检测.六氟硅酸的线性范围为2.4～ 120 mg/L,相关系数r2大于0.999,定量限为0.24 mg/L,平均加标回收率为97.2％.本方法还可以同时利用电导检测器检测废氢氟酸中的氢氟酸、醋酸、盐酸、硝酸、磷酸和硫酸的含量.该方法快速、准确,适用于蚀刻槽液中六氟硅酸的检测.

关键词：离子色谱、紫外检测器、电导检测器、六氟硅酸

所属期刊栏目：34

分类号：O658(分析化学)

在线出版日期：2016-12-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：982-985