铬掺杂二氧化硅纳米球的铬辅助合成和尺寸控制

摘要：

采用汽相传输技术,利用Si为衬底,在700℃制备了Cr掺杂的SiO2纳米球.CArCl2粉末不但可以作为掺杂剂,还可以通过和衬底硅反应,从而降低了SiO2纳米球的合成温度.并且通过改变载流气体中氧气的含量可以控制SiO2纳米球的尺寸和氧含量.这种采用Cl辅助合成并对纳米球尺寸、氧含量、掺杂元素含量进行控制的方法为纳米材料合成技术提供了新的手段.

关键词：Cr掺杂SiO2、纳米球、氧含量

所属期刊栏目：30

分类号：TN3(半导体技术)

资助基金：Singapore Ministry of Education Research GrantsSUG 20/06 and RG 46/07;the program of National Natural Science Foundation of China60778040 and 60878039

在线出版日期：2009-11-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：36-39