10.3969/j.issn.1674-3873.2008.04.015
衬底温度对激光脉冲沉积氧化锌薄膜结构及发光性能的影响
在单晶硅衬底上用激光脉冲沉积方法制备了氧化锌薄膜,研究了衬底温度对薄膜结构、形貌和发光性能的影响.
脉冲激光沉积、氧化锌薄膜、光致发光
29
O472.3(半导体物理学)
山东省自然科学基金项目Y2002A09
2009-02-23(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
44-46
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10.3969/j.issn.1674-3873.2008.04.015
脉冲激光沉积、氧化锌薄膜、光致发光
29
O472.3(半导体物理学)
山东省自然科学基金项目Y2002A09
2009-02-23(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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