Pt原子百分含量对FePt合金薄膜结构的影响

摘要：

采用直流磁控溅射在SiO2〈0001〉基片上制备了不同Pt原子百分含量的FePt合金薄膜,薄膜样品经过650 ℃热处理1 h,得到了L10有序结构.利用X射线衍射对样品的结构进行了分析,结果表明Pt原子百分含量对形成L10有序结构有明显的影响.

关键词：磁控溅射、L10有序相、Pt原子百分含量

所属期刊栏目：29

分类号：TM273(电工材料)

资助基金：吉林省教育厅资助项目2006-072

在线出版日期：2008-06-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：102-103