金刚石膜的内应力研究

摘要：

采用微波PCVD方法在单晶硅片上制备出了金刚石膜.利用拉曼光谱和X射线射三行射(XRD)研究了不同甲烷浓度对在硅基底上沉积金刚石膜的内应力的影响,同时用XRD研究,抛光对于自支撑金刚石膜的宏观应变和微观应变的影响.

关键词：金刚石膜、甲烷浓度、内应力

所属期刊栏目：27

分类号：O4(物理学)

在线出版日期：2007-03-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：10-12