纳米多层膜和复合超硬涂层的研究进展

摘要：

本文综述了近年来纳米多层膜和复合超硬涂层研究的最新进展,详述了纳米多层膜和复合超硬涂层的致硬机理和设计方法,分析了Ti/TiN、氮化物/氮化物多层膜和Ti-Si-N及Ti-Al-Si-N系复合膜的最新研究现状,指出了今后纳米多层膜和复合超硬涂层的研究方向.

关键词：纳米、多层膜、复合膜、超硬

所属期刊栏目：25

分类号：TB383;O484(工程材料学)

资助基金：国家自然科学基金50372024

在线出版日期：2004-07-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1-7